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| MEMS结构残余变形的SEM电镜云纹法实验研究 | |
刘战伟 ; 谢惠民; 方岱宁; 孟永刚; 顾长志; 赵亚溥
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| Source Publication | 中国力学学会学术大会'2005论文摘要集（下）.中国力学学会,2005,p.918 |
| 2005 | |
| Pages | 918 |
| Conference Name | 中国力学学会学术大会 2005 |
| Conference Date | 2005 |
| Conference Place | 北京 |
| Abstract | <正>微电子机械系统(MEMS)是集机械电子元件为一体具有传感、动作、控制操纵功能的集成系统。其结构由多层薄膜构成。它的制作工艺与宏观构件不同,是由薄膜刻蚀而制得的。制作过程中就可能形成残余应力。在去除牺牲层过程中残余应力释放而使得构件形状尺寸发生变化。实验结果表明,过大的残余应力致使MEMS构件发生翘曲破坏。由此可见,研究MEMS构件的残余应力是其设计中相当重要的问题。残余应力一般是通过残余变形即残余应变的量测而间接获得,因此,如何测量残余应变是十分重要问题。 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 会议论文 |
| Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/34532 |
| Collection | 力学所知识产出(1956-2008) |
| Corresponding Author | 刘战伟 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 刘战伟,谢惠民,方岱宁,等. MEMS结构残余变形的SEM电镜云纹法实验研究[C]中国力学学会学术大会'2005论文摘要集（下）.中国力学学会,2005,p.918,2005:918. |
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