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| 过滤电弧沉积TiN、ZrN和TiN／CrN多层纳米薄膜的性能比较 | |
李成明; 孙晓军; 曹尔妍 ; 吕反修; 唐伟忠
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| Source Publication | 第七届全国摩擦学大会会议论文集（一）.科学出版社,2002,p.153-156 |
| 2002 | |
| Pages | 153-156 |
| Conference Name | 第七届全国摩擦学大会 |
| Conference Date | 2002 |
| Conference Place | 甘肃兰州 |
| Abstract | 用过滤电弧离子镀(FAMIP)技术在高速钢基体上沉积了TiN、ZrN单层薄膜和TiN／CrN多层纳米薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)观察了薄膜及其划痕的表面形貌;用X射线衍射仪(XRD)分析了薄膜的相组成,结合显微探针仪、划痕试验机、金相显微镜和钻床,研究了金属陶瓷单层和多层纳米薄膜的性能并进行比较。研究结果表明:3种薄膜的临界载荷值均大于80N,多层纳米薄膜的耐磨性明显优于2种单层薄膜。 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 会议论文 |
| Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/34712 |
| Collection | 力学所知识产出(1956-2008) |
| Corresponding Author | 李成明 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 李成明,孙晓军,曹尔妍,等. 过滤电弧沉积TiN、ZrN和TiN／CrN多层纳米薄膜的性能比较[C]第七届全国摩擦学大会会议论文集（一）.科学出版社,2002,p.153-156,2002:153-156. |
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