MEMS器件的计算机辅助设计与模拟

IMECH-IR > 力学所知识产出(1956-2008)

	MEMS器件的计算机辅助设计与模拟
	孙克豪; 钱劲; 张立宪; 余同希; 赵亚溥
Source Publication	机械强度
	2001-12-30
Volume	23 Issue:4 Pages:488
ISSN	1001-9669
Abstract	概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程，分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题，讨论了目前经常采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围。并结合静电微马达与微米/纳米镊子实例，分析了模块化的CAD软件结构形式以及所用MEMS材料的数据库建立和应用连接，所提出并采用的开发方式适用于微传感器及微执行器等微系统器件的设计与模拟。
Keyword	微电子机械系统计算机辅助设计模拟数据库
Indexed By	EI ; CSCD
Language	中文
CSCD ID	CSCD:681647
Citation statistics	Cited Times:6[CSCD] [CSCD Record]
Document Type	期刊论文
Identifier	http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/40064
Collection	力学所知识产出(1956-2008)
Corresponding Author	孙克豪
Recommended Citation GB/T 7714	孙克豪,钱劲,张立宪,等. MEMS器件的计算机辅助设计与模拟[J]. 机械强度,2001,23,4,:488.
APA	孙克豪,钱劲,张立宪,余同希,&赵亚溥.(2001).MEMS器件的计算机辅助设计与模拟.机械强度,23(4),488.
MLA	孙克豪,et al."MEMS器件的计算机辅助设计与模拟".机械强度 23.4(2001):488.

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