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| Pyrex玻璃/铝多层阳极键合界面结构与力学分析 | |
| Alternative Title | The interface microstructure and mechanical property of the multi-layer wafer of pyrex glass and Al by the common anode bonding process |
鲁晓莹 ; 刘翠荣; 孟庆森; 杨振宇; 赵亚溥
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| Source Publication | 功能材料
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| 2008-09-20 | |
| Volume | 39Issue:9Pages:1466-1469 |
| ISSN | 1001-9731 |
| Abstract | 采用公共阳极法实现了Pyrex玻璃与铝多层晶片的静电键合,对玻璃/铝/玻璃阳极接合界面的组织结构及其连接机理和力学特征进行了重点研究。分别利用微拉伸测试设备和ANSYS软件分析了连接区的力学性能和残余应力分布特征。分析认为键合区由玻璃-过渡层-铝组成,过渡层为Al_2O_3-SiO_2复合氧化物。玻璃/铝界面的微观组织和元素分布均以铝为对称轴呈对称分布。在玻璃/铝/玻璃多层连接区,键合界面附近的残余应力和应变呈对称分布,多层结构的对称性有利于缓解接头应变和应力,表明应用公共阳极法可实现多层玻璃/铝/玻璃的良好键合。 |
| Keyword | 阳极键合 铝 Pyrex玻璃 力学特征 Mems |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| CSCD ID | CSCD:3426996 |
| Citation statistics |
Cited Times:2[CSCD]
[CSCD Record]
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| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/40082 |
| Collection | 力学所知识产出(1956-2008) |
| Corresponding Author | 鲁晓莹 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 鲁晓莹,刘翠荣,孟庆森,等. Pyrex玻璃/铝多层阳极键合界面结构与力学分析[J]. 功能材料,2008,39,9,:1466-1469. |
| APA | 鲁晓莹,刘翠荣,孟庆森,杨振宇,&赵亚溥.(2008).Pyrex玻璃/铝多层阳极键合界面结构与力学分析.功能材料,39(9),1466-1469. |
| MLA | 鲁晓莹,et al."Pyrex玻璃/铝多层阳极键合界面结构与力学分析".功能材料 39.9(2008):1466-1469. |
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