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微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量 | |
其他题名 | Measurements of Elastic Modulus and Residual Stress of Nickel Film by Microbridge Testing Methods |
王明军; 周勇; 陈吉安; 杨春生; 张亚民; 高孝裕; 周志敏; 张泰华![]() | |
发表期刊 | 电子元件与材料
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2004-12-30 | |
卷号 | 23期号:12页码:13-16 |
ISSN | 1001-2028 |
摘要 | 利用MEMS技术制作了不同尺寸的镍(Ni)膜微桥结构样品.采用纳米压痕仪XP系统测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了两种不同尺寸的Ni膜的弹性模量和残余应力.结果表明,两种不同尺寸的Ni膜的弹性模量结果一致,为190 GPa左右,但是残余应力变化较大.与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量186.8±7.5 GPa相比较,两者符合较好. |
关键词 | 材料测量与分析技术 镍膜微桥 Mems技术 弹性模量 残余应力 |
收录类别 | CSCD |
语种 | 中文 |
项目资助者 | 国家重点基础研究发展规划(973)项目(G1999033103) |
CSCD记录号 | CSCD:1665502 |
引用统计 | |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/41632 |
专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
通讯作者 | 王明军 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王明军,周勇,陈吉安,等. 微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量[J]. 电子元件与材料,2004,23,12,:13-16. |
APA | 王明军.,周勇.,陈吉安.,杨春生.,张亚民.,...&张泰华.(2004).微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量.电子元件与材料,23(12),13-16. |
MLA | 王明军,et al."微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量".电子元件与材料 23.12(2004):13-16. |
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