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| 真空磁过滤电弧离子镀法制备类金刚石涂层方法及性能研究 | |
王秀兰; 刘文言; 刘洪源; 张泰华
| |
| 发表期刊 | 宇航材料工艺
 |
| 2002-12-30 | |
| 卷号 | 32期号:6页码:52-54 |
| ISSN | 1007-2330 |
| 摘要 | 采用真空磁过滤电弧离子镀方法，在GT35基体上沉积类金刚石膜。通过对清洗工艺及弧电流、工件所加负偏压、沉积温度等参数的研究，制定出了合理的工艺路线，并对这种膜层进行了X-射线光电子谱（XPS）分析，利用干涉仪、纳米硬度计对膜层的粗糙度、纳米硬度作了进一步检测。结果表明，采用此种方法制备的类金刚石膜层，SP^3含量约为40．1％；组织致密，无大的颗粒；镀膜后的粗糙度可以达到0．015μm；纳米硬度约为55GPa。并将膜层与TiN膜层组成摩擦副，进行了耐磨性试验。结果表明膜层的耐磨性较好。 |
| 关键词 | 真空磁过滤电弧离子镀 类金刚石 耐磨性 涂层 制备 薄膜 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:1120545 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/42132 |
| 专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
| 通讯作者 | 王秀兰 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王秀兰,刘文言,刘洪源,等. 真空磁过滤电弧离子镀法制备类金刚石涂层方法及性能研究[J]. 宇航材料工艺,2002,32,6,:52-54. |
| APA | 王秀兰,刘文言,刘洪源,&张泰华.(2002).真空磁过滤电弧离子镀法制备类金刚石涂层方法及性能研究.宇航材料工艺,32(6),52-54. |
| MLA | 王秀兰,et al."真空磁过滤电弧离子镀法制备类金刚石涂层方法及性能研究".宇航材料工艺 32.6(2002):52-54. |
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