Knowledge Management System of Institue of Mechanics, CAS
| 微机电系统多场耦合仿真分析 | |
高行山; 赵亚溥 ; 吕胜利; 邓子辰
| |
| 发表期刊 | 动力学与控制学报
 |
| 2004-02-15 | |
| 卷号 | 2期号:1页码:70-74 |
| 摘要 | 在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS 中多种能量场耦合问题的各种数值仿真分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向. |
| 关键词 | 微电子机械系统 能量场耦合 计算机辅助设计 |
| 语种 | 中文 |
| 项目资助者 | 中科院力学研究所LNM资助项目(2003002)．~~ |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/42268 |
| 专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
| 通讯作者 | 高行山 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高行山,赵亚溥,吕胜利,等. 微机电系统多场耦合仿真分析[J]. 动力学与控制学报,2004,2,1,:70-74. |
| APA | 高行山,赵亚溥,吕胜利,&邓子辰.(2004).微机电系统多场耦合仿真分析.动力学与控制学报,2(1),70-74. |
| MLA | 高行山,et al."微机电系统多场耦合仿真分析".动力学与控制学报 2.1(2004):70-74. |
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