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| 粘着接触滞后模型 | |
魏征; 赵亚溥
| |
| 会议录名称 | 2003年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集 |
| 2003 | |
| 页码 | 101-101 |
| 会议名称 | 2003年纳米和表面科学与技术全国会议 |
| 会议日期 | 2003-3-1 |
| 会议地点 | 中国北京 |
| 摘要 | 随着微电了机械系统(MEMS)和纳电子机械系统(NEMS)的发展,微纳尺度下的粘着接触问题变得越发重要。许多MEMS器件的制备和运行都表明粘着接触是引起失效的主要因素,同样粘着接触也足影响纳尺度物体力学行为的重要因素。在粘着接触中,接触滞后是一个普遍存在的现象。所谓接触滞后,就是在粘着接触中,使两个粘着 |
| 关键词 | 滞后模型 电子机械 Mems器件 机械系统 0 普遍存在 00 主要因素 0 重要因素 学行 行都 微电 |
| 课题组名称 | 力学所 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 会议论文 |
| 条目标识符 | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/48159 |
| 专题 | 力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 魏征,赵亚溥. 粘着接触滞后模型[C]2003年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集,2003:101-101. |
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