基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试

IMECH-IR > 非线性力学国家重点实验室

	基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试
Alternative Title	In-plane Bending Performance Test of Micro-Cantilever Based on Whole-Field Displacement Measuring Technique
	邵亚琪; 郇勇; 代玉静; 缪泓; 张泰华
Source Publication	实验力学
	2014
Volume	29 Issue:4 Pages:441-446
Abstract	基于自制的微力试验机和全场位移光学测量仪,建立了微尺度力学性能原位测试系统。其中微力试验机基于电磁驱动兼载荷计量原理设计,载荷量程和噪音分别为± 1N 和50μN。全场位移光学测量仪基于白光数字散斑相关方法研制。采用该系统对MEMS 单晶硅(001)微悬臂梁进行了面内弯曲力学性能原位测试,获得了微悬臂梁末梢施力点的力- 位移关系曲线,以及全场变形情况。结果显示,微悬臂梁表现出很好的弹性弯曲行为,最后在根部发生脆性断裂。根据弹性弯曲理论计算出单晶硅弹性模量为123. 8GPa(± 3. 2%) 。该技术为研究MEMS 微构件的力学性能提供了一种有效的手段。
Keyword	微尺度面内载荷数字散斑相关方法微电子机械系统微悬臂梁
Subject Area	实验固体力学
URL	查看原文
Indexed By	CSCD
Language	中文
Funding Organization	国家自然科学基金（11372323，11025212和11272318）和中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目资助
CSCD ID	CSCD:5225637
Department	LNM实验平台
Citation statistics	Cited Times:1[CSCD] [CSCD Record]
Document Type	期刊论文
Identifier	http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/49120
Collection	非线性力学国家重点实验室
Corresponding Author	郇勇
Recommended Citation GB/T 7714	邵亚琪,郇勇,代玉静,等. 基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试[J]. 实验力学,2014,29,4,:441-446.
APA	邵亚琪,郇勇,代玉静,缪泓,&张泰华.(2014).基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试.实验力学,29(4),441-446.
MLA	邵亚琪,et al."基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试".实验力学 29.4(2014):441-446.

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