| 基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试 | |
| Alternative Title | In-plane Bending Performance Test of Micro-Cantilever Based on Whole-Field Displacement Measuring Technique |
邵亚琪 ; 郇勇; 代玉静; 缪泓; 张泰华
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| Source Publication | 实验力学
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| 2014 | |
| Volume | 29Issue:4Pages:441-446 |
| Abstract | 基于自制的微力试验机和全场位移光学测量仪,建立了微尺度力学性能原位测试系统。其中微力试验机基于电磁驱动兼载荷计量原理设计,载荷量程和噪音分别为± 1N 和50μN。全场位移光学测量仪基于白光数字散斑相关方法研制。采用该系统对MEMS 单晶硅(001)微悬臂梁进行了面内弯曲力学性能原位测试,获得了微悬臂梁末梢施力点的力- 位移关系曲线,以及全场变形情况。结果显示,微悬臂梁表现出很好的弹性弯曲行为,最后在根部发生脆性断裂。根据弹性弯曲理论计算出单晶硅弹性模量为123. 8GPa(± 3. 2%) 。该技术为研究MEMS 微构件的力学性能提供了一种有效的手段。 |
| Keyword | 微尺度 面内载荷 数字散斑相关方法 微电子机械系统 微悬臂梁 |
| Subject Area | 实验固体力学 |
| URL | 查看原文 |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金（11372323，11025212和11272318）和中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目资助 |
| CSCD ID | CSCD:5225637 |
| Department | LNM实验平台 |
| Citation statistics |
Cited Times:1[CSCD]
[CSCD Record]
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| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/49120 |
| Collection | 非线性力学国家重点实验室 |
| Corresponding Author | 郇勇 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 邵亚琪,郇勇,代玉静,等. 基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试[J]. 实验力学,2014,29,4,:441-446. |
| APA | 邵亚琪,郇勇,代玉静,缪泓,&张泰华.(2014).基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试.实验力学,29(4),441-446. |
| MLA | 邵亚琪,et al."基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试".实验力学 29.4(2014):441-446. |
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| 基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性（370KB） | 开放获取 | License | View Download | |||
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