| 一种等臂长外差式激光干涉测距系统 | |
李玉琼 ; 靳刚; 罗子人; 刘河山; 董玉辉
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| 2016-04-13 | |
| Rights Holder | 中国科学院力学研究所 |
| Abstract | 本发明提供了一种等臂长外差式激光干涉测距系统，至少包括：隔振系统，用于将外界的低频率噪声进行隔离与过滤，消除系统的震动噪声；真空系统，用于降低系统因温度波动所带来的热噪声；光源系统，用于提供2束高稳定性、高稳频的激光，同时这两束光具备相应的差分频率；干涉系统，用于产生两路等臂长外差式干涉信号，利用位移与相位之间的关系，得到被测两物体之间的位移变化信息；相位监测与数据分析系统，用于对干涉信号进行相位检测，对相位信息进行采集，并反演位移，反映干涉系统在各个频段上的测距精度。本发明可消除激光器频率不稳定性、各类噪声源对测距精度的影响，实现了长周期皮米量级的测量精度。 |
| Application Date | 2013-06-09 |
| Application Number | CN201310231028.1 |
| Patent Number | CN103307985B |
| Claim | 1.一种等臂长外差式激光干涉测距系统，其特征在于，至少包括： 隔振系统，用于将外界的震动噪声进行隔离与过滤，降低系统的震动噪声； 真空系统，用于降低系统因温度波动所带来的热噪声； 光源系统，用于提供2束高稳定性、高稳频的激光，同时这两束光具备相应的差分频率； 干涉系统，用于产生两路等臂长外差式干涉信号，利用位移与相位之间的关系，得到被测两物体之间的位移变化信息； 相位监测与数据分析系统，用于对干涉信号进行相位检测；对相位信息进行采集，并反演位移；反映干涉系统在各个频段上的测距精度。 |
| Language | 中文 |
| Classification | 发明授权 |
| Status | 失效 |
| Note | 未缴年费 |
| Country | 中国 |
| Agency | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/58730 |
| Collection | 微重力重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 李玉琼,靳刚,罗子人,等. 一种等臂长外差式激光干涉测距系统. CN103307985B[P]. 2016-04-13. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| CN103307985B.pdf（1394KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Download | ||
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