| 一种提高大型模具PVD 膜层均匀性的方法 | |
夏原 ; 李光; 高方圆
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| 2020-08-18 | |
| Rights Holder | 中国科学院力学研究所 |
| Abstract | ZL201811549499.6一种提高大型模具PVD 膜层均匀性的方法-夏原、李光、高方圆 |
| Patent Number | ZL201811549499.6 |
| Language | 中文 |
| Country | 中国 |
| Agency | 北京和信华成知识产权代理事务所 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/85490 |
| Collection | 先进制造工艺力学实验室 |
| Affiliation | 中国科学院力学研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 夏原,李光,高方圆. 一种提高大型模具PVD 膜层均匀性的方法. ZL201811549499.6[P]. 2020-08-18. |
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| ZL201811549499.6一种提高（942KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Download | ||
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