| 一种提高大型模具PVD膜层均匀性的方法 | |
夏原 ; 李光; 高方圆; 李明南
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| 2020-08-18 | |
| Rights Holder | 中国科学院力学研究所 ; 吉林省力科科技有限公司 |
| Abstract | 本发明公开了一种提高大型模具PVD膜层均匀性的方法，调节控制模具托盘的转动轴转速，实现模具PVD膜层的整体镀膜均匀性，无需在真空腔体内安装任何辅助装置，因此不会对PVD镀膜过程中的真空室各处磁场分布和沉积效率等决定品质的关键因素有任何的干扰和影响，可高效的应用于各类PVD设备。 |
| Application Date | 2018-12-18 |
| Application Number | CN201811549499.6 |
| Patent Number | CN109576667B |
| Claim | 1.一种提高大型模具PVD膜层均匀性的方法，其特征在于：调节控制模具托盘的转动轴转速，实现模具PVD膜层的整体镀膜均匀性； 调节模具托盘的转动轴转速,调节设备的转速控制是依据在模具托盘工作面上设置若干个典型沉积位置，获得的匀速旋转一个周期的典型位置的沉积速率曲线； 进而选取典型沉积位置周期内的沉积速率曲线中的循环小周期，并根据若干个典型沉积位置速率相对较高时对应的模具托盘的转动轴的旋转角度区间进行积分，得到积分比值，并设置转速调节设备的转速比为对应角度区间的积分比值，以获得周期内的模具镀层厚度均匀沉积。 |
| Language | 中文 |
| Classification | 发明授权 |
| Status | 有效 |
| Note | 授权 |
| Country | 中国 |
| Agency | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/85490 |
| Collection | 先进制造工艺力学实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 夏原,李光,高方圆,等. 一种提高大型模具PVD膜层均匀性的方法. CN109576667B[P]. 2020-08-18. |
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| ZL201811549499.6一种提高（942KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Download | ||
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