| 一种多脉冲激光打孔用移动离焦方法 | |
虞钢 ; 张越; 李少霞; 何秀丽; 田崇鑫; 郑彩云; 宁伟健
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| 2021-11-09 | |
| Rights Holder | 中国科学院力学研究所 |
| Abstract | 本发明提供一种多脉冲激光打孔用移动离焦方法，选择激光器并确定打孔参数、实验材料、摄像机和分析系统；对实验材料进行打孔，同时根据孔深变化速度，将打孔过程分为快速段，线性段和缓慢段；通过观测方法测量出每个脉冲周期结束时的打孔深度，然后根据对应参数计算出每个脉冲周期的焓变数；确定各段对应的焓变数范围，将每个脉冲周期内的焓变数保持在快速段对应的焓变数范围内，则获得最佳打孔效率。本发明通过高速摄像机观测激光打孔过程并进行无量纲分析，计算出不同打孔阶段时的焓变数变化范围，然后控制激光打孔时的焓变数在不同脉冲周期内保持在一定的的焓变数范围内的优化策略，进而提高打孔效率量化调控孔形，并增加溅射效率及深径比。 |
| Application Date | 2020-10-26 |
| Application Number | CN202011154707.X |
| Patent Number | CN112317978B |
| Claim | 1.一种多脉冲激光打孔用移动离焦方法，其特征在于，包括如下步骤， 步骤100，选择脉冲激光器或可调制的连续激光器并确定打孔参数，选择打孔实验材料，并设置获取打孔过程中深度变化图像的观测系统； 步骤200，对实验材料进行打孔，同时根据孔深变化速度，将打孔过程分为快速延伸的快速段，均匀延伸的线性段和缓慢延伸的缓慢段； 步骤300，根据每个脉冲周期的时间、焦斑半径和功率密度计算出每个脉冲周期时的打孔深度，然后根据对应参数计算出每个脉冲周期的焓变数,并根据焓变数的变化规律确定快速段、线性段和缓慢段对应的焓变数范围； 步骤400，利用前述获取焓变数范围的方式，在实际激光打孔应用中，将每个脉冲周期内的焓变数保持在快速段对应的焓变数范围内时，能够获得最佳打孔效率；将进入线性段后的每个脉冲周期内的焓变数保持在线性段对应的焓变数范围内时，能够量化调控孔形。 |
| Language | 中文 |
| Classification | 发明授权 |
| Status | 有效 |
| Note | 授权 |
| Country | 中国 |
| Agency | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/88121 |
| Collection | 先进制造工艺力学实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 虞钢,张越,李少霞,等. 一种多脉冲激光打孔用移动离焦方法. CN112317978B[P]. 2021-11-09. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 20211109_0C_CN_0.pdf（528KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Download | ||
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