| 面向跨微纳尺度MEMS设计的建模仿真平台研究报告 | |
赵亚溥
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| 2013-08-12 | |
| Abstract | 研究主要在于探寻微纳器件设计中多尺度建模仿真方法，建立多尺度、多物理场MEMS/NEMS仿真设计平台。在理论建模方面，明确提出了残余应力场对MEMS器件力学性能的重要影响，建立了小变形表/界面新的本构关系，理论模型中的相关参数可由分子动力学计算提供。在跨微纳尺度仿真建模理论模型的研究基础之上，将第一原理分子动力学方法CPMD（Car-Parrinello Molecular Dynamics）与基于有限元方法的多物理场耦合仿真程序结合，开发出多尺度微纳器件仿真平台。结合实验测试，验证了该套模型理论以及仿真平台的有效性。利用此平台，开展了一系列针对跨微纳尺度MEMS/NEMS器件的行为机理以及新物性预测等问题的研究。随着跨尺度建模理论的进一步完善和跨尺度仿真建模平台的继续开发及推广，研究成果可以大大提高国内MEMS器件的设计水平，缩短研发周期，并由此节约大量的研发及制造成本。使得MEMS/NEMS的设计建模方法适应了其快速发展的需求，同时这种先进的设计方法又会促进MEMS/NEMS技术的更快发展，进而提高我国在MEMS/NEMS领域的设计和自主创新能力，在微纳设计制造领域赶超国外先进水平。 |
| Keyword | MEMS, 跨尺度建模, 第一原理分子动力学(CPMD), 多物理场, 仿真建模平台, 分层建模, 碳纳米, 管力学传感器 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 科技报告 |
| Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/90575 |
| Collection | 非线性力学国家重点实验室 |
| Affiliation | 中国科学院力学研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 赵亚溥. 面向跨微纳尺度MEMS设计的建模仿真平台研究报告,2013. |
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