IMECH-IR  > 微重力重点实验室
基于惯性传感器的多自由度电容传感标定测试方法
刘东旭; 王少鑫; 齐克奇; 董鹏; 郭纬川; 贾建军
Source Publication中国科学:物理学 力学 天文学
2024-06-21
Volume54Issue:07Pages:141-151
ISSN1674-7275
Abstract电容传感器是实现空间任务中高精度位移探测的关键部件,受到敏感结构加工误差以及电子学器件精度的影响,系统电路的实际增益往往与理论之间存在一定差异.本文以差分放大电路为核心,对电容传感电路各环节的理论模型进行分析,并在此基础上构建了其增益及零偏模型.同时结合敏感结构工程样机开展了相关的标定实验,实现了多自由度上位移到电压的精确高效标定.此外,还提出了一种与之相对应的调制标定方法,能够有效地降低低频扰动造成的干扰,并通过实验验证了该标定方案的可行性以及零偏模型的准确性.结果显示,在未进行温控调节的情况下,各通路在多次测试下所得的标定增益系数的RMSPER值均小于0.2‰.
Keyword电容传感 多自由度标定 敏感结构 零偏模型
Indexed ByCSCD
Language中文
Funding Organization国家重点研发计划(编号:2020YFC2200104)资助项目
CSCD IDCSCD:7775297
Classification二类
Ranking1
Contributor王少鑫
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/96674
Collection微重力重点实验室
Affiliation1.国科大杭州高等研究院
2.中国科学院力学研究所
3.中国科学院大学
4.中国科学院上海光学精密机械研究所
5.中国科学院上海技术物理研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
刘东旭,王少鑫,齐克奇,等. 基于惯性传感器的多自由度电容传感标定测试方法[J]. 中国科学:物理学 力学 天文学,2024,54,07,:141-151.Rp_Au:王少鑫
APA 刘东旭,王少鑫,齐克奇,董鹏,郭纬川,&贾建军.(2024).基于惯性传感器的多自由度电容传感标定测试方法.中国科学:物理学 力学 天文学,54(07),141-151.
MLA 刘东旭,et al."基于惯性传感器的多自由度电容传感标定测试方法".中国科学:物理学 力学 天文学 54.07(2024):141-151.
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