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基于惯性传感器电容传感电路的耦合抑制标定测试方法
王少鑫; 刘东旭; 齐克奇; 郭纬川; 詹璇; 罗子人
2024-08-16
Rights Holder中国科学院力学研究所
Abstract本发明提供了一种基于惯性传感器电容传感电路的耦合抑制标定测试方法,其包括:(1)调节检验质量位于电极笼中心位置,且检验质量相对于电极笼的平动误差小于5μm,转动误差小于200μrad;(2)控制电极笼分别在XY平面、XZ平面、YZ平面上做圆周运动;(3)检测敏感装置在X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压,并采集该输出电压;(4)对输出电压进行解调处理,得到X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压幅值;(5)将各通道输出电压幅值与圆周运动半径作比,得到各通道的位移增益系数。本发明构思合理,能实现对电容传感器在多自由度上的高效标定,得到各通道电容传感电路电压—位移增益系数。
Application Date2024-01-05
Application NumberCN202410016811.4
Patent NumberCN117804502B
Claim1.一种基于惯性传感器电容传感电路的耦合抑制标定测试方法,其特征在于,所述标定测试方法主要包括以下步骤: (1)调节检验质量位于电极笼中心位置,且检验质量相对于电极笼的平动误差小于5μm,转动误差小于200μrad; (2)控制电极笼分别在XY平面、XZ平面、YZ平面上做圆周运动; 所述步骤(2)中的圆周运动通过运动叠加产生,具体是控制电极笼分别在X轴、Y轴和Z轴中的任意两轴轴向做频率及幅值相同的正弦运动,且任意两轴之间正弦运动的相位差为90°; 所述步骤(2)中在XY平面进行圆周运动是通过控制电极笼在X轴、Y轴轴向进行频率为1Hz的正弦运动叠加而成的,且Y轴轴向运动的相位超前于X轴轴向运动的相位90°; 所述步骤(2)中在XZ平面进行圆周运动是通过控制电极笼在X轴、Z轴轴向进行频率为1Hz的正弦运动叠加而成的,且Z轴轴向运动的相位超前于X轴轴向运动的相位90°; 所述步骤(2)中在YZ平面进行的圆周运动,是通过控制电极笼在Y轴、Z轴轴向进行频率为1Hz的正弦运动叠加而成的,且Z轴轴向运动的相位超前于Y轴轴向运动的相位90°; 所述圆周运动的运动半径与所述正弦运动的运动幅值相等,所述圆周运动的运动角速度ω与所述正弦运动的运动频率f的关系为: ω=2πf; (3)检测敏感装置在X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压,并采集该输出电压; (4)对上述步骤(3)中的输出电压进行解调处理,得到X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压幅值; (5)将上述步骤(4)中得到的X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压幅值与圆周运动半径作比,得到X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的位移增益系数。
Language中文
Classification发明授权
Status有效
Note授权
Country中国
Agency北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)
Document Type专利
Identifierhttp://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/97356
Collection微重力重点实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
王少鑫,刘东旭,齐克奇,等. 基于惯性传感器电容传感电路的耦合抑制标定测试方法. CN117804502B[P]. 2024-08-16.
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File name: Pt2024F049.pdf
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