| 一种用于平行反射面间角度误差的测量装置 | |
王少鑫; 齐克奇; 刘河山 ; 罗子人
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| 2024-03-12 | |
| Rights Holder | 中国科学院力学研究所 |
| Abstract | 本发明实施例公开了一种用于平行反射面间角度误差的测量装置，包括：光源提供单元，用于提供出射激光；激光分束调制单元，用于将出射激光分束，并对分束后的出射激光的频率差进行调制；激光干涉单元，用于将调制后的出射激光引导到达一组反射面相平行的待测件上，并返回形成与所述待测件一一对应的两套干涉信号；数据采集处理单元，用于采集所述干涉信号，并根据采集的干涉信号得到一组所述待测件的反射面上的角度误差信息。本发明以外差干涉技术为基础，构建了具有高精度测量能力，对反射平面的测量精度水平能够达到亚微弧度水平，可以有效地适用于标定平行反射面的平行度以及校准平行反射面。 |
| Application Date | 2023-07-13 |
| Application Number | CN202310858080.3 |
| Patent Number | CN116929250B |
| Claim | 1.一种用于平行反射面间角度误差的测量装置，其特征在于，包括： 光源提供单元，用于提供出射激光； 激光分束调制单元，用于将出射激光分束，并对分束后的出射激光的频率差进行调制； 激光干涉单元(4)，用于将调制后的出射激光引导到达一组反射面相平行的待测件上，并返回形成与所述待测件一一对应的两套干涉信号； 数据采集处理单元，用于采集所述干涉信号，并根据采集的干涉信号得到一组所述待测件的反射面上的角度误差信息； 所述激光干涉单元(4)包括汇集到第一探测器(417)的第一测量光链路和第二参考光链路，以及汇集到第二探测器(427)的第一参考光链路和第二测量光链路；其中， 所述第一测量光链路经过第一待测件(8)反射，所述第二测量光链路经过第二待测件(9)反射； 所述第一参考光链路和所述第二参考光链路各自不经过所述待测件反射； 所述激光干涉单元(4)包括形成为第一区域的第一准直器(411)、第一分光镜(412)、第一波片(414)、第一偏振分光镜(413)、第一反射镜(415)、第二分光镜(416)和第一探测器(417)，以及形成为第二区域的第二准直器(421)、第三分光镜(422)、第二波片(424)、第二偏振分光镜(423)、第二反射镜(425)、第四分光镜(426)和第二探测器(427)；且， 所述第一测量光链路位于所述第一区域中； 所述第二测量光链路位于所述第二区域中； 所述第一测量光链路通过所述第一准直器(411)输出后，顺次经过所述第一分光镜(412)、所述第一波片(414)、所述第一偏振分光镜(413)、第一待测件(8)、所述第一偏振分光镜(413)、所述第一反射镜(415)和所述第二分光镜(416)，并被所述第一探测器(417)接收； 所述第一参考光链路通过所述第一准直器(411)输出后，顺次经过所述第一分光镜(412)和所述第四分光镜(426)，并被所述第二探测器(427)接收； 所述第二测量光链路通过所述第二准直器(421)输出后，顺次经过所述第三分光镜(422)、所述第二波片(424)、所述第二偏振分光镜(423)、第二待测件(9)、所述第二偏振分光镜(423)、所述第二反射镜(425)和所述第四分光镜(426)，并被所述第二探测器(427)接收； 所述第二参考光链路通过所述第二准直器(421)输出后，顺次经过所述第三分光镜(422)和所述第二分光镜(416)，并被所述第一探测器(417)接收。 |
| Language | 中文 |
| Classification | 发明授权 |
| Status | 有效 |
| Note | 授权 |
| Country | 中国 |
| Agency | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/97429 |
| Collection | 微重力重点实验室 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王少鑫,齐克奇,刘河山,等. 一种用于平行反射面间角度误差的测量装置. CN116929250B[P]. 2024-03-12. |
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