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下开平动式直拉单晶炉 | |
钟兴儒; 田金法; 吴金良; 林兰英; 陈诺夫![]() | |
2000-03-29 | |
Rights Holder | 中国科学院半导体研究所 ; 中国科学院力学研究所 |
Abstract | 一种下开平动式直拉单晶炉,包括一炉桶、一炉底,其特征在于,一炉体支架,在该炉体支架的上面固接有一炉桶,一炉底用法兰盘与炉桶的下部连接,一液压系统与炉底连接,该液压系统通过一滚轮坐于炉体支架下面的平动滑道上;本实用新型与现有技术相比可减少炉桶的工作高度,节省单晶炉占用的场地空间;同时可使单晶炉的操作更方便灵活;其可减轻起重负载;其可减少制造直拉单晶炉的成本。 |
Application Date | 1999-03-16 |
Application Number | CN99205457.5 |
Patent Number | CN2371202Y |
Claim | 1、一种下开平动式直拉单晶炉,包括一炉桶、一炉底,其特征在于,一炉体支架,在该炉体支架的上面固接有一炉桶,一炉底用法兰盘与炉桶的下部连接,一液压系统与炉底连接,该液压系统通过一滚轮坐于炉体支架下面的平动滑道上。 |
Classification | 实用新型 |
Status | 失效 |
Note | 未缴年费 |
Country | 中国 |
Agency | 中科专利商标代理有限责任公司 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/99486 |
Collection | 力学所知识产出(1956-2008) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 钟兴儒,田金法,吴金良,等. 下开平动式直拉单晶炉. CN2371202Y[P]. 2000-03-29. |
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