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微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量 期刊论文
电子元件与材料, 2004, 卷号: 23, 期号: 12, 页码: 13-16
Authors:  王明军;  周勇;  陈吉安;  杨春生;  张亚民;  高孝裕;  周志敏;  张泰华
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材料测量与分析技术  镍膜微桥  Mems技术  弹性模量  残余应力  
微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究 期刊论文
现代科学仪器, 2004, 期号: 4, 页码: 24-27
Authors:  周勇;  王明军;  杨春生;  陈吉安;  王莉;  丁桂甫;  张亚民;  高孝裕;  张泰华
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Ni膜微桥  Mems技术  力学性能  
微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 3, 页码: 66-71
Authors:  陈吉安;  杨春生;  周勇;  丁桂甫;  王莉;  王明军;  张亚民;  张泰华
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Ni膜微桥  Meme技术  力学特性  
微桥结构铜膜杨氏模量和残余应力研究 期刊论文
现代科学仪器, 2003, 期号: 4, 页码: 45-48
Authors:  周勇;  杨春生;  陈吉安;  丁桂甫;  王莉;  王明军;  张亚民;  张泰华
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Cu膜微桥  Mems技术  力学性能  
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