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梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石膜的耐磨性影响 期刊论文
表面技术, 2017, 卷号: 46, 期号: 01, 页码: 82-87
Authors:  赵佳群;  李刘合;  景凯;  许亿;  刘红涛;  李光
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类金刚石涂层  梯度过渡层  硬质合金  耐磨性  真空阴极电弧  Pecvd  
纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 7-8, 页码: 245-248
Authors:  张海霞;  张泰华;  郇勇
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纳米压痕  纳米划痕  力学特性  氧化硅  热氧化  Lpcvd  Pecvd