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影响纳米压入测试结果的因素 | |
Alternative Title | Factors Influencing Nanoindentation Test Data |
张泰华![]() | |
Source Publication | 实验力学
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2004 | |
Volume | 19Issue:4Pages:437-442 |
ISSN | 1001-4888 |
Abstract | 纳米硬度计,又称深度测量压入仪.该仪器在刚性压针上施加特定载荷,同时记录压入试样深度.此技术广泛应用于微纳米尺度力学性能的研究.以MTS Nano Indenter○ RXP为测试手段,参考试样熔融硅为研究对象,进行了不同压入深度的测试.结果显示,硬度和模量有随压入深度减小而增大的趋势.分析了接触零点的确定、压针尖端缺陷、试样表面的吸湿和粗糙度、弹塑性转变等因素对测试结果的影响.在压入深度为微米和亚微米量级时,上述因素对测试结果无显著影响;而在纳米量级时,有显著影响.所以,当压入深度为几十纳米时,纳米压入测试结果的可靠性值得注意. |
Keyword | 纳米压入 熔融硅 接触零点 压针 吸湿 粗糙度 |
Subject Area | 力学 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
CSCD ID | CSCD:1691008 |
Citation statistics | |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/16597 |
Collection | 力学所知识产出(1956-2008) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 张泰华. 影响纳米压入测试结果的因素[J]. 实验力学,2004,19,4,:437-442. |
APA | 张泰华.(2004).影响纳米压入测试结果的因素.实验力学,19(4),437-442. |
MLA | 张泰华."影响纳米压入测试结果的因素".实验力学 19.4(2004):437-442. |
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