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等离子体反应器流场、温度场和浓度场的参数研究 | |
赵国英; 朱清文 | |
Source Publication | 空气动力学学报
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1987 | |
Volume | 5Issue:3Pages:251-260 |
ISSN | 0258-1825 |
Abstract | 文献[3,4]表述了描述等离子CVD化学反应器流场的数学物理模型,并利用Patankar方法对冷热流场作了求解。本文在此基础上就影响反应器流场、温度场和浓度场的有关参数作了理论研究。所研究的问题有:冷热流场的差别,喷射环缝密度和主流旋转速度对流动的影响。所得结果清楚地表明:这些参数的选择对反应器的性能有着不同程度的影响,而有些影响则是本质的。 |
Keyword | 温度场 等离子体反应器 化学反应器 浓度场 热流场 对流场 参数研究 喷射环 空气动力学 |
Language | 中文 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/36926 |
Collection | 力学所知识产出(1956-2008) |
Corresponding Author | 赵国英 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 赵国英,朱清文. 等离子体反应器流场、温度场和浓度场的参数研究[J]. 空气动力学学报,1987,5,3,:251-260. |
APA | 赵国英,&朱清文.(1987).等离子体反应器流场、温度场和浓度场的参数研究.空气动力学学报,5(3),251-260. |
MLA | 赵国英,et al."等离子体反应器流场、温度场和浓度场的参数研究".空气动力学学报 5.3(1987):251-260. |
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