阶梯微悬臂提高原子力显微镜多谐波信号 | |
高斐斐; 张吟 | |
Source Publication | 中国力学大会论文集(CCTAM 2019) |
2019-08-25 | |
Pages | 779-787 |
Conference Name | 中国力学大会 |
Conference Date | 2019年8月25-28日 |
Conference Place | 中国浙江杭州 |
Abstract | 在原子力显微镜(AFM)中,探针样品间相互作用力产生的多谐波的高阶模态具有高灵敏度的特性。当某一高阶谐波频率与微悬臂某一自然频率相接近时,由于共振,该阶谐波信号被显著增强。基于此,设计一种阶梯微悬臂,通过改进微悬臂几何形状,调整其自然频率,提高高阶谐波信号。通过合理地设计微悬臂尺寸,同时激发微悬臂前三阶模态。随后提出一个用于指导阶梯微悬臂设计尺寸选择的图,优化微悬臂几何形状,以显著提高包含丰富样品材料性质信息的高阶谐波信号。 |
Keyword | 高阶谐波 共振 同时激发前三阶模态 指导图 |
Language | 中文 |
Document Type | 会议论文 |
Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/80554 |
Collection | 非线性力学国家重点实验室 |
Affiliation | 1.中国科学院力学研究所 2.中国科学院大学 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 高斐斐,张吟. 阶梯微悬臂提高原子力显微镜多谐波信号[C]中国力学大会论文集(CCTAM 2019),2019:779-787. |
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