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| Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体流动和传热 | |
| Alternative Title | Flow and Heat Transfer within the Melt in Czochralski Growth of Large GaAs Single Crystal |
陈淑仙 ; 李明伟; 胡文瑞; 曾丹苓
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| Source Publication | 重庆大学学报. 自然科学版
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| 2003-09-30 | |
| Volume | 26Issue:9Pages:96-100 |
| ISSN | 1000-582X |
| Abstract | 采用低雷诺数k-ε模型，计算分析了Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体 内的热量、动量输支特性。结果表明：适当的坩埚旋转能有效抑制晶体旋转产生的对流和浮力对流，增长晶体转速能使晶体/熔体界面附近等温线更加平直，适当的坩埚、晶体转速匹配能够抑止晶体/熔体界面附近的温度波动，热毛细力对强烈熔体流动的影响可以忽略不计，但对较弱的熔体流动影响较大。文中还给出了较为适宜的坩埚、晶体转速匹配方式。研究结果为生长高质量大型砷化镓单晶提供了有重要价值的数值依据。 |
| Keyword | Czochralski法 大型砷化镓 紊流 |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| CSCD ID | CSCD:1234427 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/40032 |
| Collection | 力学所知识产出(1956-2008) |
| Corresponding Author | 陈淑仙 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 陈淑仙,李明伟,胡文瑞,等. Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体流动和传热[J]. 重庆大学学报. 自然科学版,2003,26,9,:96-100. |
| APA | 陈淑仙,李明伟,胡文瑞,&曾丹苓.(2003).Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体流动和传热.重庆大学学报. 自然科学版,26(9),96-100. |
| MLA | 陈淑仙,et al."Cz法大型砷化镓单晶生长中熔体流动和传热".重庆大学学报. 自然科学版 26.9(2003):96-100. |
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