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| HiPIMS 金属/气体离子比的调控及其对TiN涂层性能的影响 学位论文 硕士论文,北京: 中国科学院大学, 2024 Authors: 曾明亮 Adobe PDF(3490Kb)  |  Favorite  |  View/Download:68/7  |  Submit date:2024/06/03 高功率脉冲磁控溅射 TiN 等离子体特性 离子辐照 残余应力 |
| 磁控溅射AlCrTiVZr高熵合金薄膜及高温性能研究 学位论文 硕士论文,北京: 中国科学院大学, 2019 Authors: 文偲嘉 Adobe PDF(2700Kb)  |  Favorite  |  View/Download:607/12  |  Submit date:2019/05/30 高熵合金 耐高温性能 磁控溅射 微观结构 硬度 |
| NdFeB表面磁控溅射沉积Al-Mn薄膜的耐蚀性 期刊论文 金属热处理, 2017, 卷号: 42, 期号: 08, 页码: 15-19 Authors: 白巍栋; 李光; 夏原; 高方圆; 李占贤 View  |  Adobe PDF(1134Kb)  |  Favorite  |  View/Download:338/73  |  Submit date:2017/12/22 磁控溅射 钕铁硼磁体 铝锰合金薄膜 耐蚀性 |
| 力学所建成高能冲击磁控溅射装备系统并开放服务 期刊论文 力学与实践, 2015, 卷号: 37, 期号: 1, 页码: 112 Authors: 高方圆 View  |  Adobe PDF(203Kb)  |  Favorite  |  View/Download:372/94  |  Submit date:2015/12/25 力学所 表面工程 表面功能 先进制造工艺 磁控溅射 材料摩擦 开放服务 耐腐蚀性 装备研制 中国科学院 |
| 磁控溅射阴极靶磁场分布的定量评价 期刊论文 材料热处理学报, 2010, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 153-157 Authors: 高方圆; 李光; 夏原 Adobe PDF(332Kb)  |  Favorite  |  View/Download:1200/258  |  Submit date:2010/05/03 磁控溅射 磁场分布 结构参数 平行率 |
| 中频对靶反应磁控溅射Al_2O_3、TiO_2、ZrO_2功能薄膜的特性研究 期刊论文 新技术新工艺, 2008, 期号: 8, 页码: 101-104+4 Authors: 贾军伟; 潘文霞; 黄河激 Adobe PDF(502Kb)  |  Favorite  |  View/Download:599/163  |  Submit date:2010/05/03 功能薄膜 磁控溅射 薄膜电阻 |