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微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究 期刊论文
物理学报=Acta Physica Sinica, 2006, 卷号: 55, 期号: 5, 页码: 2234-2240
Authors:  阮勇;  郇勇;  张泰华;  张大成;  王阳元
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微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用 期刊论文
机械强度, 2005, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 331-334
Authors:  郇勇;  张泰华;  杨业敏;  阮勇;  张大成
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微电子机械系统  键合  微悬臂梁  强度  
DESIGN,FABRICATION,TESTING AND MECHANICAL ANALYSIS OF BULK-MICROMACHINED FLOWMETERS 期刊论文
Acta Mechanica Sinica, 2004, 期号: 2, 页码: 152-158
Authors:  Wang XB(王小保);  Qian J(钱劲);  Zhang DC(张大成)
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Micromachined Flowmeters  Bulk-micromachining  Piezoresistivity  Wheatstone Bridge  
大流量压阻式流量传感器的研制 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 449-451
Authors:  王小保;  钱劲;  张大成
Adobe PDF(189Kb)  |  Favorite  |  View/Download：485/152  |  Submit date：2010/05/03
差压  流量传感器  微机械加工  压敏电阻  
微电子机械系统中的残余应力问题 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 393
Authors:  钱劲;  刘澂;  张大成;  赵亚溥
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微电子机械系统  残余应力  薄膜  屈曲  粘附  响应频率  
硅基MEMS技术 期刊论文
机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 523-526
Authors:  郝一龙;  张立宪;  李婷;  张大成
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微电子机械系统  牺牲层  体硅工艺  深刻蚀  
Residual Stresses in Micro-Electro-Mechanical Systems 期刊论文
机械强度, 2001, 期号: 4, 页码: 393-401
Authors:  Qian J(钱劲);  Liu C(刘澄);  Zhang DC(张大成)
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